客製化零件 -XY Table
XY Table
行程
500mm X 500mm
工作機速
350mm/秒 (max)
Feedback
線性編碼器
解析度
0.1µm
重複性
< 1 µm
準確性
< 2 µm
真直度
平整度
< 4 µm
俯仰角
< 5 arc sec
偏航角
< 4 arc sec
正交性